原子力顯微鏡FM-Nainoview 6800AFM 一、

原子力顯微鏡FM-Nainoview 6800AFM

一、功能特點

1. 光機電一體化設計，外形結(jié)構簡單；

2. 掃描探頭和樣品臺集成一體，抗干擾能力強；

3. 精密激光檢測及探針定位裝置，光斑調(diào)節(jié)簡單，操作方便；

4. 采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；

5. 伺服馬達手動或自動脈沖控制，驅(qū)動樣品垂直接近探針，實現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位；

6. 高精度大范圍的樣品移動裝置，可自由移動感興趣的樣品掃描區(qū)域；

7. 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；

8. 采用伺服馬達控制CCD對焦和光學放大；

9. 模塊化的電子控制系統(tǒng)設計，便于電路的持續(xù)改進與維護；

10. 集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用。

二、友好的軟件

1. 可觀測樣品掃描時的表面形貌像、振幅像和相位像

2. 具備接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力工作模式

3. 多通道圖像同步采集顯示，實時查看剖面圖

4. 多種曲線力-間距（F-Z）、頻率-RMS（f-RMS)、RMS-間隙（RMS-Z)測量功能

5. 可進行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域

6. 激光光斑檢測系統(tǒng)的實時調(diào)整功能

7. 針尖共振峰自動和手動搜索功能

8. 可任意定義掃描圖像的色板功能

9. 支持樣品傾斜線平均、偏置實時校正功能

10. 支持掃描器靈敏度校正和電子學控制器自動校正

11. 支持樣品圖片離線分析與處理功能

三、技術規(guī)格

名稱	參數(shù)	名稱	參數(shù)
工作模式	接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力	掃描角度	任意
樣品尺寸	Φ≤90mm，H≤20mm	樣品移動范圍	0～20mm
*大掃描范圍	橫向50um，縱向5um	光學放大倍數(shù)	10X
掃描分辨率	橫向0.2nm，縱向0.05nm	光學分辨率	1um
掃描速率	0.6Hz~4.34Hz	圖像采樣點	256×256，512×512
掃描控制	XY采用18-bit D/A Z采用16-bit D/A	反饋方式	DSP數(shù)字反饋
數(shù)據(jù)采樣	14-bit A/D、雙16-bit A/D 多路同步采樣	反饋采樣速率	64.0KHz
儀器重量體積	40KG，700′480′450mm	計算機接口	USB2.0
運行環(huán)境	運行于WindowsXP/7/8操作系統(tǒng)

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