原子力顯微鏡(FM-Nanoview 6600AFM)

一、功能特點(diǎn)

1、光機(jī)電一體化設(shè)計(jì)，外形結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單；

2、掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體，抗干擾能力強(qiáng)；

3、精密激光檢測(cè)及探針定位裝置，光斑調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單，操作方便；

4、采用樣品趨近探針?lè)绞剑贯樇獯怪庇跇悠窉呙瑁?/p>

5、伺服馬達(dá)手動(dòng)或自動(dòng)脈沖控制，驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針，實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位；

6、高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置，可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域；

7、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；

8、自由變倍的CCD觀測(cè)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針掃描樣品區(qū)域；

9、采用伺服馬達(dá)控制CCD對(duì)焦和光學(xué)放大；

10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù)；

11、集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用。

二、友好的軟件界面及操作功能

1、多通道圖像同步采集顯示，實(shí)時(shí)查看剖面圖；

2、多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS（f-RMS）、RMS-間隙（RMS-Z）測(cè)量功能；

3、可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域；

4、可任意選擇樣品起始掃描角度；

5、激光光斑檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能；

6、針尖共振峰自動(dòng)和手動(dòng)搜索功能；

7、可任意定義掃描圖像的色板功能；

8、支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能；

9、支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正；

三、技術(shù)規(guī)格

名稱(chēng)	參數(shù)	名稱(chēng)	參數(shù)
工作模式	輕敲模式、接觸模式	掃描角度	任意
樣品尺寸	Φ≤80mm；H≤20mm	樣品移動(dòng)范圍	0～20mm
*大掃描范圍	橫向50um，縱向5um	馬達(dá)趨近脈沖寬度	10±2m
掃描分辨率	橫向0.2nm，縱向0.05nm	CCD放大倍數(shù)	光學(xué)放大0.6～5X 電子放大40X
掃描速率	0.6Hz~4.34Hz	圖像采樣點(diǎn)	256×256，512×512
掃描控制	XY采用18-bit D/A Z采用16-bit D/A	反饋方式	DSP數(shù)字反饋
數(shù)據(jù)采樣	14-bit A/D、雙16-bit A/D 多路同步采樣	反饋采樣速率	64.0KHz
儀器重量體積	40KG，700′480′450mm	計(jì)算機(jī)接口	USB2.0
運(yùn)行環(huán)境	運(yùn)行于WindowsXP/7/8操作系統(tǒng)

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